[发明专利]基板传送装置有效
| 申请号： | 201310220383.9 | 申请日： | 2013-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN103482321B | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 潘钟亿 | 申请（专利权）人： | 韩华泰科株式会社 |
| 主分类号： | B65G37/00 | 分类号： | B65G37/00;B65G49/05 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 韩明星;常桂珍 |
| 地址： | 韩国庆尚*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基板传送装置。根据本发明的基板传送装置包括：入口输送机，其包括支撑基板并沿第一方向传送所述基板的第一道及第二道；基板处理部，从所述入口输送机供应得到所述基板；以及出口输送机，包括从所述基板处理部传达得到所述基板而传送所述基板的第三道及第四道，所述第一道至所述第四道分别包括独立地朝与所述第一方向垂直的方向变位的两个传送轨道，在所述多个传送轨道中相邻接的一对传送轨道构成传送单元而传送所述基板。 | ||
| 搜索关键词： | 传送 装置 | ||
【主权项】：
一种基板传送装置，其特征在于，所述基板传送装置包括：入口输送机，其包括支撑基板并沿第一方向传送所述基板的第一道及第二道；基板处理部，从所述入口输送机供应得到所述基板；以及出口输送机，包括从所述基板处理部传达得到所述基板而传送所述基板的第三道及第四道，所述第一道至所述第四道分别包括独立地朝与所述第一方向垂直的方向变位的两个传送轨道，在所述8个传送轨道中相邻接的一对传送轨道构成传送单元而传送所述基板，其中，根据多个传送轨道在从所述入口输送机通过双道将基板原样传送到出口输送机的第一模式以及通过形成一个穿梭机在所述第一道和第二道之间移动的同时选择性地将基板输出到基板处理部的第二模式之间互换，其中，在选择性地将基板输出到基板处理部的第二模式中，使布置在所述入口输送机的两端部的所述传送轨道朝外侧移动。
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