[发明专利]一种快速高效的晶背缺陷识别方法

摘要

本发明公开一种快速高效的晶背缺陷识别方法，包括如下步骤创建一存放有图形信息数据的图形信息数据库；将在线发现晶圆背面缺陷的照片转化为数据化的模拟图片；将上述数据化的模拟图片中的晶圆背面缺陷特征数据输入到上述图形信息数据库中；上述图形信息数据库根据所述晶圆背面缺陷特征数据对存储其中的图形信息数据进行自动搜索，以搜索到与上述晶圆背面缺陷特征数据匹配程度最高的图形信息数据。本发明可以实现快速和自动的对晶圆背面缺陷的原因进行查找，减少缺陷对正常生产的影响，控制工艺质量和提升产品的良率，同时降低生产的成本，并且可以降低设置晶背的检测站点来减少人力和工艺成本的增加。

主权项

一种快速高效的晶背缺陷识别方法，其特征在于，包括如下步骤：创建一存放有图形信息数据的图形信息数据库；将在线发现晶圆背面缺陷的照片转化为数据化的模拟图片；将上述数据化的模拟图片中的晶圆背面缺陷特征数据输入到上述图形信息数据库中；上述图形信息数据库根据所述晶圆背面缺陷特征数据对存储其中的图形信息数据进行自动搜索，以搜索到与上述晶圆背面缺陷特征数据匹配程度最高的图形信息数据；其中，上述图形信息数据为集成电路生产工厂中所有会与晶圆背面接触造成晶圆背面缺陷的机台相关零件的数据；所述图形信息数据包括图形特征参数数据、生产特性数据，每个机台相关零件的图形信息数据均为由若干个形状不同的最小重复单元图形重复排列后组成的数据；所述数据化的模拟图片包括由若干个形状不同的最小重复单元图形重复排列后组成的数据，每个形状不同的最小重复单元图形的数量和尺寸不同，所述最小重复单元图形包括方形、圆形、三角形、多边形、直线或者曲线中的一种或几种；将所述数据化的模拟图片中晶圆背面缺陷部分的所有最小重复单元图形重复排列后的特征数据输入到所述图形信息数据库中进行自动搜索匹配。