[发明专利]一种用于室温检测的NO2气体传感器的制作方法无效
| 申请号： | 201310220511.X | 申请日： | 2013-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN103336027A | 公开（公告）日： | 2013-10-02 |
| 发明（设计）人： | 李冬梅;詹爽;梁圣法;陈鑫;谢常青;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于室温检测的NO2气体传感器的制作方法，包括：在柔性衬底表面制作金属电极；制作SWCNTs/SnO2敏感膜；以及将SWCNTs/SnO2敏感膜与柔性衬底具有金属电极的表面结合，形成用于室温检测的NO2气体传感器。利用本发明，解决了敏感材料与柔性衬底之间粘附性差，分布不均匀的问题，达到了使敏感材料与柔性衬底之间牢固结合，均匀分布的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 室温 检测 no sub 气体 传感器 制作方法 | ||
【主权项】：
一种用于室温检测的NO2气体传感器的制作方法，其特征在于，包括：在柔性衬底表面制作金属电极；制作SWCNTs/SnO2敏感膜；以及将SWCNTs/SnO2敏感膜与柔性衬底具有金属电极的表面结合，形成用于室温检测的NO2气体传感器。
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