[发明专利]一种简易式可调节X型光路平行调试检测装置有效
| 申请号： | 201310220604.2 | 申请日： | 2013-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN103308002A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 林学春;杨盈莹;赵伟芳;王文婷;伊肖静;张玲;于海娟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种简易式可调节X型光路平行调试检测装置，包括：装置主体支架，用于固定和连接第一孔径光阑、第一平面反射镜与孔径光阑组合结构、第二孔径光阑，以及第二平面反射镜与孔径光阑组合结构；第一待校准平行光路，用于发射观察光束；第一孔径光阑，用于限制观察光束的光束口径；第一平面反射镜与孔径光阑组合结构，用于确定经第一孔径光阑的观察光束的传播路径；第二平面反射镜与孔径光阑组合结构，用于确定从第一平面反射镜与孔径光阑组合结构传播过来的观察光束传播路径；第二孔径光阑，用于限制从第二平面反射镜与孔径光阑组合结构传播过来的观察光束的光束口径；第二待校准平行光路，用于接收经第二孔径光阑的观察光束。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 简易 调节 型光路 平行 调试 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种简易式可调节X型光路平行调试检测装置，包括：装置主体支架，用于固定和连接第一孔径光阑、第一平面反射镜与孔径光阑组合结构、第二孔径光阑，以及第二平面反射镜与孔径光阑组合结构；第一待校准平行光路，其用于发射观察光束；第一孔径光阑，其用于限制观察光束的光束口径；第一平面反射镜与孔径光阑组合结构，其用于确定经第一孔径光阑的观察光束的传播路径，使其传播至第二平面反射镜与孔径光阑组合结构；第二平面反射镜与孔径光阑组合结构，其用于确定从第一平面反射镜与孔径光阑组合结构传播过来的观察光束传播路径，使其进入第二孔径光阑；第二孔径光阑，其用于限制从第二平面反射镜与孔径光阑组合结构传播过来的观察光束的光束口径；第二待校准平行光路，其用于接收经第二孔径光阑的观察光束。
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