[发明专利]一种宽波段硅基探测器光谱响应的通用测试系统

摘要

本发明涉及一种宽波段硅基探测器光谱响应的通用测试系统，光源与单色仪相连，单色仪进光口放置一套滤波片轮，单色仪出射狭缝后安装一组准直缩束石英透镜，在石英透镜后安装有一套能量衰减转轮，标准探测器和CCD驱动板固定在三维步进电机平台置于暗室中，标准探测器和CCD驱动板分别接收来自单色仪的光信号，再通过图像采集卡和皮安表将信号送入工控机里处理；步进电机平台使标准探测器与CCD驱动板可横向同轴切换，工控机输出控制步进驱动器、单色仪、衰减转轮。在单色仪和探测器之间采用能量衰减转轮实现对不同波段入射光的能量进行控制，有效避免了光源在整个波段能量的不均匀性，从而保证了宽波段光谱响应及量子效率的测量的准确性。

主权项

一种宽波段硅基探测器光谱响应的通用测试系统，其特征在于，包括光源、单色仪、透镜、衰减转轮、CCD驱动板、步进电机平台、暗室、步进驱动器、图像采集卡、工控机、皮安表、标准探测器、滤光片轮，光源与单色仪相连，单色仪进光口放置一套滤波片轮，单色仪出射狭缝后安装一组准直缩束石英透镜，在石英透镜后安装有一套能量衰减转轮，标准探测器和CCD驱动板固定在三维步进电机平台置于暗室中，标准探测器和CCD驱动板分别接收来自单色仪的光信号；步进电机平台使标准探测器与CCD驱动板可横向同轴切换，CCD驱动板的输出接图像采集卡，标准探测器的输出接皮安表相连，图像采集卡和皮安表输出的信号均送入工控机进行处理，工控机输出控制信号到步进驱动器、单色仪、衰减转轮。