[发明专利]一种MEMS反相振动陀螺仪及其制造工艺有效
| 申请号： | 201310221698.5 | 申请日： | 2013-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN104215236A | 公开（公告）日： | 2014-12-17 |
| 发明（设计）人： | 于连忠;孙晨 | 申请（专利权）人： | 中国科学院地质与地球物理研究所 |
| 主分类号： | G01C19/574 | 分类号： | G01C19/574;G01C19/5769 |
| 代理公司： | 北京金之桥知识产权代理有限公司 11137 | 代理人： | 林建军 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种MEMS反相振动陀螺仪，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板以及下盖板；所述测量体为两个，沿垂直方向相对连接，每个所述测量体包括外框架、位于所述外框架内的内框架以及位于所述内框架内的质量块；两个所述测量体之间通过所述外框架相连接；所述外框架与所述内框架之间通过第一弹性梁相连接；所述质量块与所述内框架通过所述第二弹性梁相连接；所述内框架与所述外框架之间的相对边设置有梳状耦合结构；两个所述质量块在垂直方向上以相反方向振动，本发明通过测量所述梳状耦合结构之间的电容变化来测量旋转角速度。本发明具有检测灵敏度高、耦合能耗小、噪声小等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 振动 陀螺仪 及其 制造 工艺 | ||
【主权项】：
一种MEMS反相振动陀螺仪，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板以及下盖板；其特征在于，所述测量体为两个，沿垂直方向相对连接，每个所述测量体包括外框架、位于所述外框架内的内框架以及位于所述内框架内的质量块；两个所述测量体之间通过所述外框架相连接；所述外框架与所述内框架之间通过第一弹性梁相连接；所述质量块与所述内框架通过第二弹性梁相连接；所述内框架与所述外框架之间的相对边设置有梳状耦合结构；两个所述质量块在垂直方向上以相反方向振动，所述梳状耦合结构测量旋转角速度。
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