[发明专利]半导体批次产品的处理系统和方法

摘要

一种半导体批次产品的处理系统和方法，其中所述半导体批次产品的处理系统包括若干批次产品；处理站点；关键批次产品到达时间预测单元；机台端口下一次可用时间预测单元；约束检查单元和分配单元。所述分配单元根据关键批次产品到达时间预测单元获得的关键批次产品到达处理站点的时间间隔和机台端口下一次可用时间预测单元获得的处理站点各机台端口的下一次可用时间间隔，计算约束检查单元获得的各可使用机台端口的总可处理批次产品数，按照所述总可处理批次产品数为各关键批次产品分配机台端口。本发明的半导体批次产品的处理系统和方法缩短了关键批次产品等待时间，合理安排了机台资源。

主权项

一种半导体批次产品的处理系统，用于处理若干批次产品，所述批次产品包括关键批次产品，其特征在于，所述半导体批次产品的处理系统包括：处理站点，所述处理站点具有若干机台，所述处理站点包括若干机台端口，所述机台端口适于处理所述批次产品；关键批次产品到达时间预测单元，适于收集所述批次产品的工艺流程信息，并根据所述工艺流程信息计算各关键批次产品到达处理站点的时间间隔；机台端口下一次可用时间预测单元，适于根据机台端口的运行信息计算各机台端口的下一次可用时间间隔；约束检查单元，适于根据所述工艺流程信息将所述关键批次产品和所述机台端口相匹配，获得各关键批次产品到达处理站点时的可使用机台端口；分配单元，适于根据所述关键批次产品到达处理站点的时间间隔和处理站点各机台端口的下一次可用时间间隔，计算各可使用机台端口的总可处理批次产品数，按照所述总可处理批次产品数为各关键批次产品分配机台端口。