[发明专利]涂布装置的洗边腔室和洗边方法在审
| 申请号： | 201310222206.4 | 申请日： | 2013-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN104216216A | 公开（公告）日： | 2014-12-17 |
| 发明（设计）人： | 刘洋;伍强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G03F1/82 | 分类号： | G03F1/82 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种涂布装置的洗边腔室和洗边方法，其中，所述涂布装置的洗边腔室，包括：夹持单元，用于夹持圆筒形掩模板，并使所述圆筒形掩模板倾斜并绕中心轴旋转；侧边喷头，用于喷吐溶剂，去除圆筒形掩模板表面的两端边缘的光刻胶。所述洗边腔室能干净的去除圆筒形掩模板表面的两端边缘的光刻胶。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 洗边腔室 方法 | ||
【主权项】：
一种涂布装置的洗边腔室，其特征在于，包括：夹持单元，用于夹持圆筒形掩模板，并使所述圆筒形掩模板倾斜并绕中心轴旋转；侧边喷头，用于喷吐溶剂，去除圆筒形掩模板表面的两端边缘的光刻胶。
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G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如通过电子束；其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM]；PSM空白；其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜；其制备，例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜，例如用于校准或测试的特殊涂层或标记；其制备
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