[发明专利]基于高数值孔径柱透镜聚焦产生均匀线激光束的装置有效
申请号: | 201310223413.1 | 申请日: | 2013-06-06 |
公开(公告)号: | CN103336366A | 公开(公告)日: | 2013-10-02 |
发明(设计)人: | 陈小明;白晋涛 | 申请(专利权)人: | 西北大学 |
主分类号: | G02B27/09 | 分类号: | G02B27/09;G02B27/28 |
代理公司: | 西安恒泰知识产权代理事务所 61216 | 代理人: | 李郑建 |
地址: | 710069 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明涉及一种基于高数值孔径柱透镜聚焦产生均匀线激光束的装置,由线偏振激光光源、球透镜组、矩形光阑、二分之一波片、非连续波片和高数值孔径柱透镜组成;线偏振激光光源产生的光束经球透镜组扩束准直后由矩形光阑选取光斑中心部分几乎均匀的矩形线偏振光通过;矩形光阑射出的矩形线偏振光经二分之一波片,接着经过或不经过非连续波片后,由高数值孔径柱透镜聚焦在焦面处产生均匀线激光束。该装置结构简单,在使用或者不使用非连续波片的情况下,通过简单的旋转二分之一波片和改变高数值孔径柱透镜的数值孔径,即可以在焦面处得到中心平顶的均匀线激光束;均匀线光束可用于线扫描显微成像、微纳米材料加工和检测。 | ||
搜索关键词: | 基于 数值孔径 透镜 聚焦 产生 均匀 激光束 装置 | ||
【主权项】:
一种基于高数值孔径柱透镜聚焦产生均匀线激光束的装置,其特征在于,由线偏振激光光源(1)、球透镜组(2)、矩形光阑(3)、二分之一波片(4)、非连续波片(5)和高数值孔径柱透镜(6)组成;线偏振激光光源(1)产生的光束,经球透镜组(2)扩束准直后,由矩形光阑(3)选取光斑中心部分几乎均匀的矩形线偏振光通过;从矩形光阑(3)射出的矩形线偏振光经二分之一波片(4),接着经过或不经过非连续波片(5)后,由高数值孔径柱透镜(6)聚焦在焦面(7)处产生均匀线激光束。
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