[发明专利]金属硬掩膜组合物在审
| 申请号： | 201310225934.0 | 申请日： | 2013-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN103365085A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | D·王;J·孙;P·特雷弗纳斯;K·M·奥康奈尔 | 申请（专利权）人： | 罗姆哈斯电子材料有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 吴培善 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供一种组合物，其至少包含下述A和B：A)聚合物，其包含聚合形式的至少一种“含有至少一个羟基基团的单体”，和B)有机金属化合物，其包含至少一种金属，选自Ti，Zr，Hf，Co，Mn，Zn或其组合，其中所述有机金属化合物基于A和B的总重量以大于5重量％的量存在。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 硬掩膜 组合 | ||
【主权项】：
一种组合物，其至少包含下述A和B：A)聚合物，其包含聚合形式的至少一种“含有至少一个羟基基团的单体”，和B)有机金属化合物，其包含至少一种金属，选自Ti，Zr，Hf，Co，Mn，Zn或其组合，其中所述有机金属化合物基于A和B的总重量以大于5重量％的量存在。
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