[发明专利]一种钼及其合金的连续镀硅工艺

摘要

一种钼及其合金的连续镀硅工艺，属于金属基复合材料的连续生产技术领域。采用钼及其合金的清洗-预热-连续镀硅-退火合金化-镀样冷却的连续镀硅工艺，能够对钼及其合金进行连续镀硅生产钼基复合材料。处理对象包括纯钼材料、钼铌合金材料、钨钼合金材料、铬钼合金材料科学、镍钼合金材料、硅钼合金材料等。能够连续制备出镀层致密均匀、表面规则平整、耐腐蚀、抗高低温氧化的钼基复合材料，复合材料的类型包括Mo-MoSi2/Si、Mo-Nb-MoSi2/NbSi2/Si、Mo-W-MoSi2/WSi2/Si、Mo-Cr-MoSi2/CrSi2、Mo-Ni-MoSi2/NiSi2/Si等耐腐蚀、抗氧化的金属基复合材料，优点在于，简化了生产工艺、降低了生产成本、提高了产品质量、有效的提高生产效率。

主权项

一种钼及其合金的连续镀硅工艺，其特征在于：处理对象是钼及其合金；工艺步骤如下：（1）钼及其合金材料的开卷、夹送、矫直：将钼及其合金材料用开卷机开卷、经夹送后进行矫直，使其表面规则、平整；（2）焊接、清洗：焊接采用CO2气体保护焊接机焊接； （3）预热；将钼及其合金材料在氩气保护感应预热炉内预热到250℃～350℃； （4）硅液制备：采用大型真空感应将纯度为7N的多晶硅加热到1450～1500℃，加热炉气氛为氩气保护气氛；（5）连续镀硅‑气刀处理：将钼及其合金在氩气保护气氛中送入硅槽，进行硅层涂镀处理，涂镀温度在1450～1500℃，并通过气刀来控制钼及其合金材料表面的镀层重量，气刀采用镀层重量自动闭环控制及人工微调控制；（6）退火合金化：将钼及其合金镀件送入真空可控气氛退火炉内进行，退火温度为1000～1400℃，退火时间为1～3小时，退火气氛为氩气保护气氛； （7）镀件冷却：将涂镀后的镀件进行氩气喷射冷却和水淬冷却；首先用氩气喷射冷却将镀件冷却至150～250℃，然后在进入水淬槽进行冷却至50℃～80℃；（8）光整、矫直：光整矫直是将镀件出冷却塔后用光整机进行光整，并于拉矫机进行矫直，以保证镀件的光整平直；（9）烘干卷取：采用电加热方式烘干镀件，烘干温度控制在60～120℃，待烘干后检测表明质量并用芯轴套管悬臂式卷取机卷取。