[发明专利]掺硼氧化锌薄膜的制备方法有效
| 申请号： | 201310227559.3 | 申请日： | 2013-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN103343335A | 公开（公告）日： | 2013-10-09 |
| 发明（设计）人： | 徐东;徐永清;郭友沛 | 申请（专利权）人： | 深圳市亚太兴实业有限公司 |
| 主分类号： | C23C20/08 | 分类号： | C23C20/08 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 赵强 |
| 地址： | 518103 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及薄膜领域，公开了两种掺硼氧化锌薄膜的制备方法，主要包括以下步骤：将锌源、稳定剂和硼源混于有机溶剂中，制成凝胶，对所述凝胶进行涂膜与干燥处理，得到前驱体薄膜，对所述前驱体薄膜进行热处理，而后冷却，得到掺硼氧化锌薄膜。本发明的两种制备方法相比于现有的真空法，提高了原料的利用率，降低了生产成本，保证了薄膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化锌 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
掺硼氧化锌薄膜的制备方法，包括以下步骤：向锌源的有机溶液中加入稳定剂，升温至25‑80℃后加入硼源，然后陈化处理，得到凝胶；或将锌源、稳定剂和硼源溶于有机溶剂中，配制混合物溶液，将所述混合物溶液蒸发回流，得到凝胶；其中，所述凝胶中硼原子与锌原子的摩尔比为0.2～1.0：100；对所述凝胶进行涂膜与干燥处理，得到前驱体薄膜；对所述前驱体薄膜进行热处理，冷却，得到掺硼氧化锌薄膜。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C20-00 通过固态覆层化合物抑或覆层形成化合物悬浮液分解且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C20-02 .镀金属材料
C23C20-06 .镀金属材料以外的无机材料
C23C20-08 ..镀化合物、混合物或固溶体，例如硼化物、碳化物、氮化物
C23C20-04 ..镀金属
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