[发明专利]一种基于荧光涂层积分球的紫外探测器制备方法

摘要

本发明涉及一种基于荧光涂层积分球的紫外探测器制备方法，将积分球体内表面抛光，通过真空或旋涂镀膜方法在积分球内壁均匀镀一层荧光薄膜；在积分半球的底部开槽并嵌入硅基探测器件作为紫外光信号的接收器，在两个积分半球的合并的圆边上开孔作为入射孔；由于荧光薄膜的发射波长在硅基探测器的敏感波段，经过积分球内壁多次反射后瞬间被硅基探测器件接收，实现了硅基探测器对紫外信号的灵敏响应。不用在硅基成像器件的保护玻璃窗或者光敏面上镀膜，避免了探测器除窗操作对器件的损伤，同时基于积分球内对紫外光反射的多次激励发光，极大提高了荧光效率和总能量，方便的实现了紫外线的精确探测，效果好，成本低廉。

主权项

一种基于荧光涂层积分球的紫外探测器制备方法，其特征在于，具体包括如下步骤：1）积分球体为两个半球，将积分球体内表面抛光，并在在两个积分半球的圆边上各开相同半径的半圆孔；2）通过真空或旋涂镀膜方法在积分球内壁均匀镀一层荧光薄膜；3）将加工后的两个半球封装为一完整球体，两个半球的半圆孔正对成一个圆孔，作为入射孔；4）两半球结合面作为水平面，在积分球的底部开槽并嵌入硅基探测器件作为紫外光信号的接收器，接收器接收面与积分球内壁一致；5）入射的信号光通过入射孔进入积分球后，在内部多次反射后被硅基探测器件接收。