[发明专利]夹持装置及工件输送机械手在审
申请号: | 201310228855.5 | 申请日: | 2013-06-08 |
公开(公告)号: | CN103779260A | 公开(公告)日: | 2014-05-07 |
发明(设计)人: | 占部雄士;三重野靖理 | 申请(专利权)人: | 昕芙旎雅有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/68;H01L21/687 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;张会华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种能够以较高的位置精度保持工件及解除该保持状态、并且耐振性较强的夹持装置。夹持装置(101)能够在工件保持台(31)上保持工件(W)及解除该保持状态,该夹持装置(101)构成为:在工件保持台(31)上包括:顶端侧固定块(41、42),其设于该工件保持台(31)的顶端(31b)侧;基端侧固定块(51、52),其以隔着工件(W)的方式设于与顶端侧固定块(41、42)相对的基端(31a)侧;以及可动块(61),其配置于靠近基端侧固定块(51、52)的位置处,且被设为能够隔着工件(W)相对于顶端侧固定块(41、42)侧进退。 | ||
搜索关键词: | 夹持 装置 工件 输送 机械手 | ||
【主权项】:
一种夹持装置,其能够在工件保持台上保持工件及解除该保持状态,其特征在于,在上述工件保持台上包括:顶端侧固定块,其设于该工件保持台的顶端侧;基端侧固定块,其以隔着工件的方式设于与上述顶端侧固定块相对的基端侧;以及可动块,其配置于靠近该基端侧固定块的位置处,且被设为能够隔着工件相对于上述顶端侧固定块侧进退;上述各固定块形成有朝向工件的中心方向并向下方倾斜的向上固定倾斜面,上述可动块形成有朝向工件的中心方向并向上方倾斜的向下可动倾斜面,当在工件保持台上对工件进行保持时,在使工件以横跨上述各固定块的向上固定倾斜面的方式载置于上述各固定块的向上固定倾斜面的状态下,以向下可动倾斜面与工件的侧面相抵接的方式使上述可动块进出,当在工件保持台上解除工件的保持状态时,使上述可动块向与工件相反的方向退避。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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