[发明专利]一种双区域比例输出共焦探测方法与装置有效
| 申请号： | 201310229514.X | 申请日： | 2013-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN103292735A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 黄向东;谭久彬;尹可 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种双区域比例输出共焦探测方法与装置属于三维共焦显微测量领域，特别涉及一种双区域比例输出共焦探测方法与装置；该方法将收集物镜焦平面光斑以光斑中心为圆心分为同心的两个区域，采用不同区域光强的比例值作为双区域比例输出共焦探测器108的输出；该装置设置有双区域比例输出共焦探测器，通过采用双层光敏面或采用CCD相机虚拟针孔技术，实现不同区域的探测；这种设计，不仅具备更高的轴向探测灵敏度，而且能够抑制共焦系统中乘性噪声的影响，使输出结果与输入光强及样品的反射率无关；同时获得单调变化的焦平面附近轴向曲线，使样品处于探测物镜焦平面附近位置时，通过一次测量即可获得其轴向位置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 区域 比例 输出 探测 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种双区域比例输出共焦探测方法，其特征为：将收集物镜(107)焦平面光斑以光斑中心为圆心分为同心的两个区域，内圆区域记为A，半径记为R1，外圆环带区域记为B，外圆半径记为R2，共焦测量系统在进行扫描时，采用区域A与B光强的比例值作为双区域比例输出共焦探测器(108)的输出。
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