[发明专利]对称移焦式轴向高分辨共焦显微成像装置无效
| 申请号： | 201310229605.3 | 申请日： | 2013-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN103278088A | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 黄向东;谭久彬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B9/04 | 分类号： | G01B9/04 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 对称移焦式轴向高分辨共焦显微成像装置属于光学精密测量领域；对称移焦式轴向高分辨共焦显微成像装置，包括照明光路和探测光路，所述的照明光路为：激光器发出的光束经准直镜组准直后，平行穿过偏振分光镜和1/4λ波片，由聚焦显微物镜会聚到被测物体上；所述的探测光路为：从被测物体反射的光束，先后经过聚焦显微物镜和1/4λ波片，并由偏振分光镜反射到1：1普通分光镜，1：1普通分光镜反射光路上和直射光路上均设置有探测光路，实现两路光束的探测；本发明不仅等同于差动共焦显微技术，而且移焦量可准确设置，使系统轴向分辨能力达到最优，同时免除了复杂的针孔对称离焦调整。 | ||
| 搜索关键词： | 对称 移焦式 轴向 分辨 显微 成像 装置 | ||
【主权项】：
对称移焦式轴向高分辨共焦显微成像装置，其特征在于:包括照明光路和探测光路，所述的照明光路沿光束传播方向依次设置激光器(1)、准直镜组(2)、偏振分光镜(3)、1/4λ波片(4)、聚焦显微物镜(5)和样品(6);激光器(1)发出的光束经准直镜组(2)准直后，平行穿过偏振分光镜(3)和1/4λ波片(4)，由聚焦显微物镜(5)会聚到被测物体(6)上;所述的探测光路包括1:1普通分光镜(10)，第一路位相滤波器(15)，第一路收集透镜(7)，第一路针孔(8)，第一路光强转换器(9)，第二路位相滤波器(14)，第二路收集透镜(11)，第二路针孔(12)，第二路光强转换器(13);从被测物体(6)反射的光束，先后经过聚焦显微物镜(5)和1/4λ波片(4)，并由偏振分光镜(3)反射到1:1普通分光镜(10)，被1:1普通分光镜(10)反射的光束依次经过第一路位相滤波器(15)，第一路收集透镜(7)和第一路针孔(8)由第一路光强转换器(9)接收;所述的第一路针孔(8)位于第一移焦面，第一移焦面处于未加第一路位相滤波器(15)时的焦面后方位置;经1:1普通分光镜(10)透射的光束依次经过第二路位相滤波器(14)，第二路收集透镜(11)和第二路针孔(12)由第二路光强转换器(13)接收;所述的第二路针孔(12)位于第二移焦面，第二移焦面处于未加第二路位相滤波器(14)时的焦面前方位置。
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