[发明专利]固态成像装置以及摄像机

摘要

本发明提供一种固态成像装置，包括具有第一表面和第二表面的衬底，光入射在第二表面侧；设置在第一表面侧的布线层；形成在衬底中且包括第一导电类型的第一区的光电检测器；设置在衬底的第一表面上且邻近光电检测器的转移栅极，转移栅极传输积累在光电检测器中的信号电荷；设置在衬底的第一表面且叠置在光电检测器上的至少一个控制栅极，控制栅极控制第一表面附近该光电检测器的电势。

主权项

一种固态成像装置，包括：衬底，包括光电检测器；第一绝缘膜，设置在该衬底的光接收表面上或上方，具有至少部分结晶的区域；布线层，设置在该衬底的与该光接收表面相对的表面的上方；以及电荷积累区，具有用于抑制形成在该衬底的光接收表面和该光电检测器之间的暗电流的功能；其中，形成电荷积累区不需离子注入形成。