[发明专利]一种用于金属有机化学气相沉积反应器的管道冷却式气体分布装置

摘要

本发明公开了一种用于金属有机化学气相沉积反应器的管道冷却式气体分布装置，所述管道冷却式气体分布装置包括气体喷射板，该气体喷射板上方设有气体连接板，在气体连接板与气体喷射板之间设有气体分布板；在上述各结构板之间安装有冷却液管道，该冷却液管道是由单根管道折弯或多根管道拼焊制成。所述气体喷淋头上还设置有若干相互隔离的气体通道，如第一、第二前体气体通道和载气通道，所述气体通道与相应的气体接口连接，能够将相应的气体独立的送入反应室。本发明采用管式冷却降低了喷淋头的制造难度，且提高了喷淋头中冷却液管道的密封性能及密封可靠性。

主权项

一种用于金属有机化学气相沉积反应器的管道冷却式气体分布装置，包括位于反应腔室（103）上方的气体喷射板（210），该气体喷射板（210）上方设有气体连接板（216），在所述气体喷射板（210）与气体连接板（216）之间设有至少三个层叠的气体分布板（212、214、215）；其特征在于，在所述气体喷射板（210）与最下层的气体分布板（212）之间、相邻两层气体分布板之间均设置有冷却液管道（211、213、217、218）；所述气体连接板（216）上设置有若干气体接口（202、203、206）、测量仪安装窗口（205）以及与所述冷却液管道（211、213、217、218）连通的冷却液进出口（201、207），且所述气体喷射板（210）、气体分布板（212、214、215）、气体连接板（216）叠加在一起后形成若干相互独立的气体通道（303c、307c、305c），该气体通道包括第一前体气体通道（307）、第二前体气体通道（303）和载气通道（305）；所述气体喷射板（210）的上侧面、气体连接板（216）的下侧面以及各气体分布板（212、214、215）的上、下侧面均设有用于容纳冷却液管道（211、213、217、218）的两个凹槽（308a，301b、302b），两个凹槽（308a）之间通过狭缝（305e）隔开，在所述凹槽（308a，301b、302b）内冷却液管道折弯水平布置；所述测量仪安装窗口（205）内设有与气体接口连通的狭缝（305e）；所述气体连接板（216）和各气体分布板（212、214、215）上均设有冷却液管道安装通孔。