[发明专利]绘制装置、数据处理方法和物品制造方法无效
| 申请号： | 201310234160.8 | 申请日： | 2013-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN103515174A | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 村木真人;大石哲;杵渕广海 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/30 | 分类号： | H01J37/30;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 康建忠 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了绘制装置、数据处理方法和物品制造方法。该绘制装置在第一局部区域和第二局部区域上执行绘制。第一局部区域和第二局部区域具有重叠区域，在所述重叠区域中第一局部区域和第二局部区域彼此重叠。该装置包括变换设备，被配置用于根据第一变换规则将第一局部区域的第一图案数据变换成第一量化图案数据，以及根据第二变换规则将第二局部区域的第二图案数据变换成第二量化图案数据，第一变换规则与第二变换规则不同；以及控制器，被配置用于基于第一量化图案数据控制第一局部区域上的绘制，以及基于第二量化图案数据控制第二局部区域上的绘制。 | ||
| 搜索关键词： | 绘制 装置 数据处理 方法 物品 制造 | ||
【主权项】：
一种绘制装置，该绘制装置在第一局部区域和第二局部区域上执行绘制，第一局部区域和第二局部区域具有重叠区域，在所述重叠区域中第一局部区域和第二局部区域彼此重叠，所述装置包括：变换设备，被配置用于根据第一变换规则将第一局部区域的第一图案数据变换成第一量化图案数据，以及根据第二变换规则将第二局部区域的第二图案数据变换成第二量化图案数据，第一变换规则与第二变换规则不同；以及控制器，被配置用于基于第一量化图案数据控制第一局部区域上的绘制，以及基于第二量化图案数据控制第二局部区域上的绘制。
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