[发明专利]硅片测试前加热装置制作方法无效
| 申请号： | 201310234796.2 | 申请日： | 2013-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN103338535A | 公开（公告）日： | 2013-10-02 |
| 发明（设计）人： | 费跃伟 | 申请（专利权）人： | 浙江光普太阳能科技有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/00 | 分类号： | H05B3/00 |
| 代理公司： | 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 | 代理人： | 秦晓刚 |
| 地址： | 313100 浙江省湖*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅片测试前加热装置制作方法，首先，在测试暗箱前的行走臂上方搭设玻璃制的门形加热框架，其中加热框架顶部钻有电线孔，加热框架顶部外侧铺设有热辐射膜；然后，在加热框架顶部安装红外线加热灯，红外线加热灯电源线从加热框架顶部的电线孔穿入与红外线加热灯连接；最后，在加热框架外侧安装加热开关。当待测试硅片输送时，开启红外线加热灯，通过红外线的辐射传热提高待测试硅片的表面温度，使待测试硅片满足测试时的温度要求，这样也避免了开启空调来调整温度，降低了能耗，而且此加热装置改装方便，成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 测试 加热 装置 制作方法 | ||
【主权项】：
硅片测试前加热装置制作方法，行走臂向测试暗箱输送待测试硅片，其特征在于：首先，在测试暗箱前的行走臂上方搭设玻璃制的门形加热框架，其中加热框架顶部钻有电线孔，加热框架顶部外侧铺设有热辐射膜；然后，在加热框架顶部安装红外线加热灯，红外线加热灯电源线从加热框架顶部的电线孔穿入与红外线加热灯连接；最后，在加热框架外侧安装加热开关；当待测试硅片输送时，开启红外线加热灯，通过红外线的辐射传热提高待测试硅片的表面温度，使待测试硅片满足测试时的温度要求。
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