[发明专利]一种晶体硅太阳电池生产工艺

摘要

本发明涉及一种太阳电池生产工艺，更具体的讲是一种晶体硅太阳电池生产工艺，其包括如下步骤：制绒、扩散、去除磷硅玻璃、PECVD沉积氮化硅、硅片酸溶液清洗、烘干、丝网印刷、烧结和分检，本发明的有益效果是：使用酸处理有氮化硅的硅片不但可以进一步去除背面的氧化层，有利于背表面对长波太阳光的反射；而且可以在硅片的前表面——氮化硅表面形成细小的粗糙表面，有利于太阳光在电池正表面对短波的吸收。这样可以增加太阳电池在整个太阳光波段的吸收，达到提高短路电流的效果，而且本发明酸处理设备成熟、成本低廉，操作简单。

主权项

一种晶体硅太阳电池生产工艺，包括如下步骤：制绒、扩散、去除磷硅玻璃、PECVD沉积氮化硅、硅片酸溶液清洗、烘干、丝网印刷、烧结和分检。