[发明专利]位置测量装置有效
| 申请号： | 201310240064.4 | 申请日： | 2013-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN103512493B | 公开（公告）日： | 2017-07-04 |
| 发明（设计）人： | 拉尔夫·比尔;约尔格·德雷谢尔;沃尔夫冈·霍尔扎普费尔;马库斯·迈斯纳;伯恩哈德·默施;伯恩哈德·普勒查彻 | 申请（专利权）人： | 约翰内斯﹒海德汉博士有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01D5/347;G01D5/34 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人： | 余刚,李慧 |
| 地址： | 德国特劳*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种位置测量装置，其用于检测两个机器组件的相对位置，机器组件至少沿第一和第二主运动方向在移动平面中相对彼此可运动地布置。位置测量装置包括至少一个量具，该量具布置在第一机器组件上。在第二机器组件上布置有至少六个扫描单元，该扫描单元用于在移动平面中在至少两个测量方向上光学扫描量具。在此，每个测量方向对应于至少两个扫描单元。在移动平面中的分别一个测量方向的扫描单元非点对称式地相对于第二机器组件的中心布置。 | ||
| 搜索关键词： | 位置 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种用于检测两个机器组件的相对位置的位置测量装置，所述机器组件至少沿第一主运动方向(Y)和第二主运动方向(X)在移动平面中相对彼此可运动地布置，所述位置测量装置具有：‑至少一个量具，所述量具布置在第一机器组件上，和‑至少六个第一扫描单元，所述第一扫描单元布置在第二机器组件上并且用于在所述移动平面中在至少两个测量方向(MR1，MR2)上光学扫描所述量具，其中‑每个所述测量方向(MR1，MR2)对应于至少两个所述第一扫描单元，和‑在所述移动平面中的分别一个所述测量方向(MR1，MR2)的所述第一扫描单元非点对称式地相对于所述第二机器组件的中心(S)布置。
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