[发明专利]法布里-珀罗干涉仪

摘要

一种法布里-珀罗干涉仪，包括输入镜子（50）和布置为隔着间隙（AG）面对所述输入镜子的输出镜子（30）。每一镜子包括一对高折射层（31，32，51，52）和选择性地布置在所述高折射层之间的空隙层（33，53）。布置为跨过所述间隙的输入侧桥部分和输出侧桥部分中的至少之一可作为隔膜移动。每一桥部分包括透射部（S1，S2）和周边部（T1，T2）。每一透射部包括镜子元件（M1，M2），在所述镜子元件（M1，M2）中，所述空隙层由所述一对高折射层夹置。在垂直于所述第一方向的第二方向上，所述输入镜子（50）的所述镜子元件（M2）的宽度大于从所述输出镜子输出的透射光的最大波长的七倍并用作衍射限制镜子。

主权项

一种法布里‑珀罗干涉仪，包括：输入镜子（50），布置在光的输入侧；以及输出镜子（30），布置在所述光的输出侧，所述输出镜子隔着间隙（AG）在第一方向上面对所述输入镜子，其中，所述输入镜子和所述输出镜子中的每一镜子包括一对高折射层（31，32，51，52）和选择性地布置在所述一对高折射层之间的空隙层（33，53），并且所述一对高折射层中的每一高折射层的折射率大于所述空隙层的折射率，其中，在所述输入镜子中，所述一对高折射层（51，52）和所述空隙层（53）提供输入侧桥部分（54），所述输入侧桥部分（54）跨过限定于所述输入镜子与所述输出镜子之间的所述间隙，其中，在所述输出镜子中，所述一对高折射层（31，32）和所述空隙层（33）提供输出侧桥部分（34），所述输出侧桥部分（34）跨过限定于所述输入镜子与所述输出镜子之间的所述间隙，其中，所述输入侧桥部分和所述输出侧桥部分中的至少之一作为隔膜可在所述第一方向上移动，其中，所述输入侧桥部分和所述输出侧桥部分中的每一桥部分包括透射部（S1，S2）和围绕所述透射部布置的周边部（T1，T2），并且所述透射部中的每一透射部包括镜子元件（M1，M2），在所述镜子元件（M1，M2）中，所述空隙层由所述一对高折射层夹置，其中，所述输入镜子的所述透射部布置为面对所述输出镜子的所述透射部，其中，从所述输出镜子输出的光称为透射光，其中，在垂直于所述第一方向的第二方向上，所述输入镜子（50）的所述镜子元件（M2）的宽度大于所述透射光的最大波长的七倍，并且所述输入镜子（50）的所述镜子元件（M2）用作衍射限制镜子。