[发明专利]激光加工装置

摘要

本发明提供一种激光加工装置，其中，激光光线照射构件具备激光光线振荡构件、聚光器和配设在它们间的激光光线分支机构。激光光线分支机构具备分支单元，分支单元具有：1/2波长板；第1偏振分光镜，其将通过了1/2波长板的激光光线分离成P偏振光和S偏振光；第1反射镜，其用于反射P偏振光；第2反射镜，其用于反射S偏振光；第2偏振分光镜，其将被第1反射镜和第2反射镜反射的P偏振光和S偏振光引导至同一方向的光路；以及角度调整构件，其用于调整被第1反射镜和第2反射镜反射的P偏振光和S偏振光中的至少一方的向第2偏振分光镜入射的角度，通过角度调整构件来调整所述角度，由此来调整被聚光器聚光的多条激光光线的聚光点的间隔。

主权项

一种激光加工装置，其特征在于，所述激光加工装置具备：卡盘工作台，其用于保持被加工物，激光光线照射构件，其用于对保持在所述卡盘工作台的被加工物照射激光光线，所述激光光线照射构件包括：激光光线振荡构件，其用于振荡出激光光线；聚光器，其用于对由所述激光光线振荡构件振荡出的激光光线进行聚光，并使其照射到保持在所述卡盘工作台的被加工物；以及激光光线分支机构，其配设在所述激光光线振荡构件和所述聚光器之间，用于使由该激光光线振荡构件振荡出的激光光线分支成多条激光光线，以及加工进给构件，其用于使所述卡盘工作台和所述激光光线照射构件沿加工进给方向相对移动，所述激光光线分支机构包括分支单元，该分支单元具有：1/2波长板，其用于使由所述激光光线振荡构件振荡出的激光光线的偏振面旋转45度；第1偏振分光镜，其用于将通过了所述1/2波长板的激光光线分离成P偏振光和S偏振光；第1反射镜，其用于反射由所述第1偏振分光镜分离得到的P偏振光；第2反射镜，其用于反射由所述第1偏振分光镜分离得到的S偏振光；第2偏振分光镜，其用于将被所述第1反射镜和所述第2反射镜反射后的P偏振光和S偏振光引导至同一方向的光路；以及角度调整构件，其用于调整被所述第1反射镜和所述第2反射镜反射后的P偏振光和S偏振光中的至少一方的向所述第2偏振分光镜入射的角度，通过所述角度调整构件来调整被所述第1反射镜和所述第2反射镜反射后的P偏振光和S偏振光的向所述第2偏振分光镜入射的角度，由此来调整被所述聚光器聚光的、由P偏振光和S偏振光构成的多条激光光线的聚光点的间隔。