[发明专利]具有堆叠栅格结构的图像传感器有效

专利信息
申请号: 201310241562.0 申请日: 2013-06-18
公开(公告)号: CN104051474B 公开(公告)日: 2017-11-03
发明(设计)人: 郑允玮;简荣亮;赵志刚;郑志成;陈信吉 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 北京德恒律治知识产权代理有限公司11409 代理人: 章社杲,孙征
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明提供了一个或多个图像传感器以及将光导向光电二极管的技术。一种具有堆叠栅格结构的图像传感器包括金属栅格,该金属栅给被配置成朝向相应的光电二极管引导光且使光偏离其他光电二极管中。该图像传感器还包括位于金属栅格之上的介电栅格和填充栅格用以将光导向相应的光电二极管且将其从其他光电二极管中导出,在此该填充栅格具有与介电栅格不同的折射率。通过这种方式消除了串扰以及由通过错误的光电二极管探测光而导致出现的其他问题。
搜索关键词: 具有 堆叠 栅格 结构 图像传感器
【主权项】:
一种图像传感器,包括:金属栅格,形成在光电二极管阵列之上,所述金属栅格包括:第一金属栅格部分,所述第一金属栅格部分包括被配置成将光导向第一光电二极管且使所述光偏离第二光电二极管的第一界面,第二金属栅格部分,被配置成将所述光导向所述第一光电二极管的第二界面;以及介电层在所述第一金属栅格部分和所述第二金属栅格部分之间延伸;介电栅格,形成在所述金属栅格之上,所述介电栅格包括第一介电栅格部分,所述第一介电栅格部分被配置成将所述光导向所述第一光电二极管且使所述光偏离所述第二光电二极管填充材料,形成在所述介电栅格上方,其中,所述填充材料的底面接近所述金属栅格的顶面并且所述填充材料包括颜色过滤材料。
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