[发明专利]一种动压浮离抛光方法有效
申请号: | 201310244152.1 | 申请日: | 2013-06-18 |
公开(公告)号: | CN103331652A | 公开(公告)日: | 2013-10-02 |
发明(设计)人: | 朴钟宇;徐钉;文东辉;王扬渝 | 申请(专利权)人: | 浙江工业大学 |
主分类号: | B24B1/00 | 分类号: | B24B1/00 |
代理公司: | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人: | 王利强 |
地址: | 310014 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种动压浮离抛光方法,将粘贴有工件的基盘沿圆周方向制成有若干个倾斜平面的圆盘在液体中转动时,通过液体楔产生液体动压,使保持环中的工件浮离圆盘表面,通过浮动间隙的粉末颗粒对工件进行抛光。本发明提供一种在加工工件时既能降低表面粗糙度、改善表面质量,同时能够提高精度的动压浮离抛光方法。 | ||
搜索关键词: | 一种 动压浮离 抛光 方法 | ||
【主权项】:
一种动压浮离抛光方法,其特征在于:将粘贴有工件的基盘沿圆周方向制成有若干个倾斜平面的圆盘在液体中转动时,通过液体楔产生液体动压,使保持环中的工件浮离圆盘表面,通过浮动间隙的粉末颗粒对工件进行抛光。
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