[发明专利]一种含MEMS开关的可重构微波低通滤波器

摘要

本发明涉一种含MEMS开关的可重构微波低通滤波器，包括输入端、输出端、MEMS桥、偏压垫、偏压线、地线、信号线以及桥墩，MEMS膜桥依次垂直于第一、第二地线分布；所述相邻MEMS膜桥间连接有所述信号线；所述桥墩分别设于对应的MEMS膜桥的两端；所述输入端、输出端分别对应连接于地线及信号线的对应端；所述偏压垫分别通过偏压线连接MEMS膜桥对应端的桥墩。其有益效果为：硅片上的MEMS开关替代传统的PIN开关二极管、变容二极管或FET等开关器件实现滤波器的频率重构；共面波导传输线替代了传统的PCB板上的共面波导传输线；结构紧凑简单、尺寸微小、控制电路功耗低、工作频率高；可与传统的IC工艺兼容，工艺成熟，成本低廉，适合于批量生产。

主权项

一种含MEMS开关的可重构微波低通滤波器，包括输入端、输出端、MEMS桥、偏压垫、偏压线、地线、信号线以及桥墩，其特征在于所述MEMS膜桥分别为第一MEMS膜桥、第二MEMS膜桥、第三MEMS膜桥、第四MEMS膜桥以及第五MEMS膜桥； 所述偏压垫分别为第一偏压垫、第二偏压垫以及第三偏压垫；所述地线分别为第一地线和第二地线；所述第一地线和第二地线平行分布，所述第一MEMS膜桥、第二MEMS膜桥、第三MEMS膜桥、第四MEMS膜桥以及第五MEMS膜桥依次垂直于第一、第二地线分布；所述相邻MEMS膜桥间连接有所述信号线；所述桥墩分别设于对应的MEMS膜桥的两端；所述输入端、输出端分别对应连接于地线及信号线的对应端；所述第一偏压垫分别通过偏压线连接第一、第五MEMS膜桥对应端的桥墩，所述第二偏压垫通过偏压线对应连接第三MEMS膜桥对应端的桥墩，所述第二偏压垫通过偏压线分别连接第二、第四MEMS膜桥对应端的桥墩。