[发明专利]一种石英托架有效
| 申请号： | 201310245315.8 | 申请日： | 2013-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN103354215A | 公开（公告）日： | 2013-10-16 |
| 发明（设计）人： | 张衡;马树明;王俊;刘晓 | 申请（专利权）人： | 合肥海润光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 刘燕娇 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英托架，包括托架本体，所述托架本体的左右两侧设有横梁，为左横梁与右横梁，所述托架本体前后两端设有挡板，为前挡板和后挡板，在所述托架本体的中部设有防护板，所述防护板与前挡板的距离小于所述横梁与后挡板的距离，在所述托架本体后端还设有加压板。本发明的石英托架通过在托架后端设置加压板和在托架中部设置防护板，有效的防止了石英托架在SiC桨上移位时整体从SiC桨上掉落下去，从而很好的保护了位于石英托架下方的石英件、硅片和SiC桨，也避免了巨大财产损失事故的出现。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石英 托架 | ||
【主权项】：
一种石英托架，其特征在于：包括托架本体，所述托架本体的左右两侧设有横梁，为左横梁与右横梁，所述托架本体前后两端设有挡板，为前挡板和后挡板，在所述托架本体的中部设有防护板，所述防护板与前挡板的垂直距离小于所述横梁与后挡板的垂直距离，在所述托架本体后端还设有加压板。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
