[发明专利]薄膜沉积装置以及使用该薄膜沉积装置的薄膜沉积方法有效
| 申请号： | 201310246571.9 | 申请日： | 2013-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN103866237B | 公开（公告）日： | 2018-04-06 |
| 发明（设计）人： | 姜声钟 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司11018 | 代理人： | 张红霞,周艳玲 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种薄膜沉积装置以及使用该薄膜沉积装置的薄膜沉积方法。所述薄膜沉积装置包括沉积源和角度限制板，该沉积源经由喷射孔朝向基板喷射沉积蒸气，该角度限制板被布置为邻近所述喷射孔，以便在设定范围内限制从所述喷射孔喷射所述沉积蒸气的角度。所述角度限制板包括相对于所述喷射孔被固定的固定限制板和相对于所述喷射孔能移动的能移动限制板。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 沉积 装置 以及 使用 方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜沉积装置，包括：沉积源，该沉积源经由喷射孔朝向基板喷射沉积蒸气；和角度限制板，该角度限制板被布置为邻近所述喷射孔，以便在设定范围内限制从所述喷射孔喷射所述沉积蒸气的角度，其中所述角度限制板包括相对于所述喷射孔被固定的固定限制板和相对于所述喷射孔能移动的能移动限制板，其中所述能移动限制板包括能够独立滑动的多个能移动限制板。
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