[发明专利]一种基于Agent的分布式智能光刻设备

摘要

本发明提供一种基于Agent的分布式智能光刻设备，该设备需集成到各种光刻设备中使用。实际使用时，本地工作站通过因特网远程访问技术访问远程服务器中的技术参数库，检索符合技术指标的各项参数，下载并自动加载到该设备中，实现对光刻的控制；该设备还可以通过传感器实时记录下机器运行时的各项指标，通过WIFI传输至本地工作站，检索出最佳匹配参数，将匹配的结果传输给分布在各机器中的嵌入式设备，设备根据接收到数据后进行相应的操作。本发明能有效避免各光刻步骤之间的相互影响和制约，保证最佳光刻效果，使光刻效果稳定，实现新技术的参数指标快速匹配，数据共享，资源利用最大化，而且该设备智能化程度高，使用起来非常方便快捷。

主权项

一种基于Agent的分布式智能光刻设备，其特征在于包括：嵌入式设备、WIFI、本地工作站和多个光刻设备；嵌入式设备通过因特网远程访问技术和局域网数据传输技术两个系统并行执行，互补地完成技术参数匹配任务；所述技术参数匹配过程为： 步骤S01：本地工作站通过因特网远程访问技术得到更新的数据库和参数模型； 步骤S02：本地工作站通过WIFI将更新的工艺参数模型传输至嵌入式设备并自动加载到程序； 步骤S03：嵌入式设备运行更新的工艺参数模型，通过局域网数据传输技术对各光刻设备的光刻步骤进行实时参数匹配； 步骤S04：将匹配参数实时地传输至分布在各光刻设备中的嵌入式设备； 步骤S05：嵌入式设备根据接收到的数据对各光刻设备进行相应的实时操作。