[发明专利]一种线性蒸发源无效
| 申请号： | 201310248645.2 | 申请日： | 2013-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN103290365A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 廖良生;丁磊;周旻;陈敏;周东营;李杨帆 | 申请（专利权）人： | 苏州方昇光电装备技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 陆明耀;陈忠辉 |
| 地址： | 215125 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种线性蒸发源，包括线性蒸发源的主体及设置于线性蒸发源的主体上方的盖板，所述主体一体成型，在所述主体内部两端对称开设有凹槽，所述凹槽内设有蒸发元件，所述两个凹槽之间位于主体下方设有加热元件；所述盖板上开设有一排通孔构成喷嘴，所述盖板与所述主体间螺纹连接。本发明的线性蒸发源不易变形，工作效率高，且可实现高均匀性厚膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 线性 蒸发 | ||
【主权项】：
一种线性蒸发源，用于大面积制造平板显示器和照明面板，其特征在于：包括线性蒸发源的主体(3)及设置于线性蒸发源的主体上方的盖板，所述主体(3)一体成型；在所述主体(3)内部两端对称开设有凹槽(2)、所述凹槽内设有蒸发元件构成蒸发单元；所述两个凹槽(2)之间位于主体(3)下方设有加热元件(1)；所述盖板上开设有一排通孔(5)构成喷嘴，所述盖板与所述主体间螺纹连接。
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