[发明专利]等离子体源有效
| 申请号： | 201310251929.7 | 申请日： | 2013-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN103779155A | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 井内裕;谷井正博 | 申请（专利权）人： | 日新离子机器株式会社 |
| 主分类号： | H01J27/02 | 分类号： | H01J27/02 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 周善来;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种等离子体源，能使防着板的交换周期延长、能提高等离子体源的运转率。等离子体源（1）包括：等离子体生成容器（2），具有冷却机构，生成等离子体用的气体导入其内部；防着板（5），配置在所述等离子体生成容器（2）的内侧；多个永磁体（3），配置在所述等离子体生成容器（2）的外侧，用于生成会切磁场；并且包括磁体（4），在等离子体生成容器（2）的内侧，在隔着等离子体生成容器（2）的壁面与永磁体（3）相对的位置，以与等离子体生成容器（2）的内壁面抵接的方式配置于等离子体生成容器（2）的内壁面。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 | ||
【主权项】：
一种等离子体源，其特征在于，把气体导入具有冷却机构的等离子体生成容器的内部，通过把所述气体电离生成等离子体，所述等离子体源包括：防着板，配置在所述等离子体生成容器的内侧；以及多个永磁体，配置在所述等离子体生成容器的外侧，用于把等离子体关起来，并且在所述等离子体生成容器的内侧，在隔着所述等离子体生成容器的壁面与所述永磁体相对的位置，设置有与所述等离子体生成容器的内壁面抵接的磁体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日新离子机器株式会社，未经日新离子机器株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310251929.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
