[发明专利]一种全场激光测振系统

摘要

本发明涉及一种全场激光测振装置，属于全场振动参数精密测量技术领域。包括测量光源，准直扩束器，第一偏振分光棱镜，声光调制器，第一反光镜、第二反光镜、第三反光镜，1/2波片，第二偏振分光棱镜，1/4波片，第一分域光组镜，测量对象，分光镜，第二分域光组镜，调谐光切镜，光电接收器，分域光组位移调制器，视觉测量单元；本发明采用了光学分域和全场振动调谐测量结构，使测量系统紧凑方便，易于操作与控制，实现全场振动精准测量与评价，具有较好的应用推广价值。

主权项

一种全场激光测振系统，其特征在于：由测量装置由光频调制模块1，干涉测量主体模块（2），分域光组控制模块（3），干涉信号解调模块（4），控制及信息输出模块（5），视觉测量模块（6）组成；测量装置采用外差干涉的原理，在参考光或测量光频率上利用声光调制的方法叠加调制光频，主要用于测振时的速度方向判别；定义测量光方向为Z轴方向，垂直于测量光方向的平面为X、Y轴平面，以此共同组成空间直角坐标系；测量光经过准直扩束后进入干涉测量主体模块（2），分光成参考光和测量光，参考光或测量光利用光频调制模块（1）实现测量中光频调制，其中测量光经分域光组镜形成测量全场光波入射被测对象，返回与参考光干涉后，再次经分域光组镜入射调谐光切镜，根据测量选择区域可选择测量全场振动量；根据视觉测量模块（6）测量结果确定空间测量点位置，利用分域光组控制模块（3）来选择干涉光输出的空间位置，分域光组位移调制器调节光电接收器的对应空间位置，实现全场振动的同步及任意设置区域测量，其中光电信号转换有利用干涉信号解调模块（4）完成，控制及信息输出模块（5）完成系统测量控制及数据输出。