[发明专利]一种多功能半导体样品夹具有效
| 申请号： | 201310253153.2 | 申请日： | 2013-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN103344794A | 公开（公告）日： | 2013-10-09 |
| 发明（设计）人： | 白月;唐涌耀 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;H01L21/687 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多功能半导体样品夹具，应用于测试和分析工艺中半导体样品的固定。所述承载主体上设置有凹槽和固定装置，所述固定装置固定所述半导体样品于所述凹槽中；所述承载主体还设置有至少三个挡板和一个底板，所述挡板均固定设置于所述底板的上表面；所述凹槽由相邻的两个所述挡板与该两挡板之间的底板共同构成；所述固定装置包括导向轨道、滑块和固定螺杆；所述导向轨道设置于所述凹槽底部的上表面，且该导向轨道的导向方向垂直于构成该凹槽的挡板；所述滑块通过所述导向轨道垂直于挡板往复运动，所述固定螺杆固定所述滑块于所述导向轨道上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多功能 半导体 样品 夹具 | ||
【主权项】：
一种多功能半导体样品夹具，应用于测试工艺中半导体样品的固定，其特征在于，所述夹具包括承载主体；所述承载主体上设置有凹槽和固定装置，所述固定装置固定所述半导体样品于所述凹槽中。
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