[发明专利]一种用于线性运动导螺杆和螺母总成中螺母和螺丝自动对准的悬置轴环夹持装置

摘要

本发明提供一种自动对准线性运动仪器。该仪器包含一根导螺杆。该仪器还包含一个设置成环绕该导螺杆的螺母装置，其中该螺母装置包含至少一个螺母、一个螺母架和一个悬置轴环。一个带肩螺丝穿过该螺母架的螺母架孔以及该螺母的螺母孔，以至少部分安置在该悬置轴环里。该螺母架孔的一个尺寸大于该带肩螺丝的横断面尺寸，当该导螺杆转动时，该带肩螺丝就能够在该螺母架孔中运动，以对准该螺母装置，从而保持该螺母装置与该导螺杆之间的同心关系。

主权项

一种带有至少一个处理室的进行基底处理的处理系统，所述至少一个处理室具有基底支撑部件，包括：导螺杆；以及当所述导螺杆转动时移动所述基底支撑部件的装置，其至少包括螺母，螺母架，悬置轴环，和带肩螺丝，其中所述带肩螺丝被设置成穿插过所述螺母架的螺母架孔和所述螺母的螺母孔，以至少部分安置在所述悬置轴环里，其中所述螺母架孔的尺寸大于所述带肩螺丝的横断面尺寸，以使所述带肩螺丝能够在所述螺母架孔中运动，从而保持所述移动装置与所述导螺杆之间的同心关系。