[发明专利]具有通过保护帽进行信号路由的微机电设备及控制微机电设备的方法有效

专利信息
申请号: 201310259186.8 申请日: 2013-06-20
公开(公告)号: CN103513059B 公开(公告)日: 2017-09-15
发明(设计)人: G·阿里加托;B·西摩尼;C·瓦尔扎西纳;L·科尔索 申请(专利权)人: 意法半导体股份有限公司
主分类号: B81B7/02 分类号: B81B7/02;B81B7/00;B81C1/00
代理公司: 北京市金杜律师事务所11256 代理人: 王茂华,张宁
地址: 意大利阿格*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种微机电设备包括主体(4),容纳微机电结构(8、10);以及帽(5),通过导电键合区域(7)键合至主体(4)并且电耦合至微机电结构(8,10);其中帽(5)包括选择模块(13),选择模块(13)具有耦合至微机电结构(8、10)的第一选择端子(13a)、第二选择端子(13b)和至少一个控制端子(13c),并且可以通过控制端子(13c)控制,以选择性地根据与相应运行状况对应的多个耦合配置之一、将第二选择端子(13b)耦合至相应第一选择端子(13a)。
搜索关键词: 具有 通过 保护 进行 信号 路由 微机 设备 控制 方法
【主权项】:
一种微机电设备,包括:主体(4;104;204;304),包括微机电结构(8、10;108;208、210;308),所述微机电结构包括多个输出端子,所述多个输出端子被配置成提供相应的输出信号;导电键合区域;帽(5;105;205;305),通过所述导电键合区域(7;207;307)键合至所述主体(4;104;204;304)并且电耦合至所述微机电结构(8,10;108;208;308);所述帽(5;105;205;305)包括:选择模块(13;213;313),所述选择模块(13;213;313)具有:耦合至所述微机电结构(8、10;108;208、210;308)的所述多个输出端子中的相应输出端子的第一选择端子(13a),第二选择端子(13b),以及控制端子(13c),被配置成根据对应于相应运行状况的多个耦合配置之一将所述第一选择端子中的第一选择端子选择性地耦合至所述第二选择端子(13b)。
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