[发明专利]感应耦合等离子体装置、分光分析装置以及质量分析装置

摘要

提供感应耦合等离子体装置、分光分析装置以及质量分析装置。感应耦合等离子体装置大幅降低等离子气体的消耗量。作为解决手段，该感应耦合等离子体装置具有圆筒形状的罩，其与等离子体炬是分离的，具有足够包围到生成等离子体火焰的前端部的高度，该罩外嵌地配置在等离子体炬上；以及校正气体导入机构，其将用于校正等离子气体的流路的校正气体导入到在罩的内表面和等离子体炬的外管的外表面之间形成的间隙部。

主权项

一种感应耦合等离子体装置，其特征在于，该感应耦合等离子体装置具有：导入试样的试样导入部，等离子体炬，其为由载气用的内管、辅助气体用的中间管以及等离子气体用的外管构成的同心的三重管结构，在一端部具有所述内管的气体导入部、所述中间管的气体导入部以及所述外管的气体导入部，另一端部为开口状态；圆筒形状的罩，其与所述等离子体炬是分离的，具有足够包围到生成的等离子体火焰的前端部的高度，且该罩被配置成间隔开规定的距离地外嵌在所述等离子体炬上；感应线圈，其以包围所述等离子体火焰形成的、在所述等离子体炬的开口端附近的等离子体生成区域的方式，外嵌地配置在所述罩上；气体控制部，其控制所述载气、所述辅助气体以及所述等离子气体；以及校正气体导入机构，其将用于校正所述等离子气体的流路的校正气体导入到在所述罩的内表面和所述外管的外表面之间形成的间隙部，所述罩在被支撑在基底部上的开口端部的圆周上的一部分，具有连通其圆筒的内外部的槽，其中，所述基底部支撑固定所述罩，所述基底部在与所述罩的固定侧的圆筒端部相接的线上的一部分具有能够与所述槽吻合的凸部，该凸部成为配置时的基准。