[发明专利]一种用于光催化的氧化锌掺杂氧化钛薄膜的制备方法

摘要

本发明提供一种用于光催化的氧化锌掺杂氧化钛薄膜的制备方法，包括以下步骤：20hPa以下的低真空并加热到100～200℃，清洗反应腔；将衬底清洗，吹干，将前驱体四（二甲氨基）钛通入反应腔脉冲时间3秒，清洗；水蒸汽脉冲，再清洗水蒸汽，至此完成一个循环的氧化钛的沉积；将前驱体二乙基锌通入2秒脉冲时间，清洗；通入水蒸汽脉冲4秒，清洗，至此完成一个循环的氧化锌的沉积；多个沉积氧化钛的循环和1个沉积氧化锌的循环组成一个大循环，在完成多个大循环后即完成氧化锌掺杂氧化钛薄膜沉积过程，然后在450℃的温度下退火2小时。薄膜厚度和成分能精确可调，具有优异的光学透过率和光催化效率。

主权项

一种用于光催化的氧化锌掺杂氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，用真空泵将反应腔抽到20hPa以下的低真空并加热到100～200℃，再用纯度为5N的高纯氮清洗反应腔；步骤二，将衬底在高纯去离子水中超声清洗10‑30分钟，用高纯氮枪吹干，保持玻璃衬底有清洁的表面；步骤三，将前驱体四（二甲氨基）钛通入反应腔脉冲时间3秒，清洗四（二甲氨基）钛的脉冲时间为8秒；然后通入4秒的水蒸汽脉冲，再用10秒脉冲时间清洗掉多余的水蒸汽，至此完成一个循环的氧化钛的沉积；步骤四，将前驱体二乙基锌通入2秒脉冲时间，清洗脉冲时间为6秒；通入水蒸汽脉冲4秒，清洗脉冲时间10秒，至此完成一个循环的氧化锌的沉积；步骤五，多个沉积氧化钛的循环和1个沉积氧化锌的循环组成一个大循环，在完成多个大循环后即完成氧化锌掺杂氧化钛薄膜沉积过程，然后在450℃的温度下退火2小时。