[发明专利]氧化锡-氧化锌复合空心微球气敏传感器件及制备方法有效
申请号: | 201310264387.7 | 申请日: | 2013-06-28 |
公开(公告)号: | CN103364453A | 公开(公告)日: | 2013-10-23 |
发明(设计)人: | 葛美英;尹桂林;姜来新;何丹农 | 申请(专利权)人: | 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12 |
代理公司: | 上海东方易知识产权事务所 31121 | 代理人: | 唐莉莎 |
地址: | 200241 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种氧化锡-氧化锌复合空心微球气敏传感器及其制备方法,氧化锡-氧化锌复合空心微球利用模板法制备,气敏传感器件采用旁热式器件结构,以氧化铝陶瓷管为载体,陶瓷管内部有加热丝,外表面附有金电极,两端由铂金丝引出电极。在陶瓷管外部涂有氧化锡-氧化锌复合空心微球气敏材料,焊接、封装后得到气敏传感器件。本发明的优点在于:利用比表面积大的金属氧化物微球做气敏材料,可大大增加材料表面的活性空位;提高气敏传感器的响应率和响应时间;本发明采的气敏传感器件制作简单、性能稳定、灵敏度高,在工作温度下对乙醇有很高的灵敏性,可用于乙醇的检测。 | ||
搜索关键词: | 氧化 氧化锌 复合 空心 微球气敏 传感 器件 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种氧化锡‑氧化锌复合空心微球气敏传感器件的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)将有机物模板溶于有机溶剂中,完全溶解后加入锌前驱体和0.5毫升至2.8 毫升的二乙醇胺,或三乙醇胺;然后在室温下至少搅拌3小时得到氧化锌前驱体溶液;(2)按锡前驱体和锌前驱体摩尔比1:10~1:1称取锡前驱体,置于锌前驱体溶液中,搅拌2~4小时,得到锡‑锌复合前驱体溶液;(3)将前驱体溶液置于反应釜中,于80~200℃反应12小时至24小时;(4)待反应釜温度降至室温,将乳白色悬浮液用酒精和水分别洗涤3~5次,得到氧化锡‑氧化锌复合空心微球,将微球置于酒精或水中待用;(5)氧化铝陶瓷管用去离子水、丙酮、氯仿清洗干净,烘干备用;(6)将氧化锡‑氧化锌复合空心微球的悬浮液均匀涂抹在步骤(4)的氧化铝陶瓷管上,将陶瓷管进行封装;(7)在100~300℃下电老化3~15天,制成氧化锡‑氧化锌复合空心微球气敏传感器件。
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