[发明专利]一种用于超精细纳米加工的针尖无效
| 申请号： | 201310264872.4 | 申请日： | 2013-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN104253002A | 公开（公告）日： | 2014-12-31 |
| 发明（设计）人： | 裘晓辉;周向前;陈鹏程;程志海 | 申请（专利权）人： | 国家纳米科学中心;北京汇德信科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J1/304 | 分类号： | H01J1/304;G01Q60/40 |
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| 地址： | 100190 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于超精细纳米加工的针尖，在金属针尖及悬臂上依次镀氧化物绝缘膜和屏蔽聚焦金属膜，氧化物绝缘膜和屏蔽聚焦金属膜在金属针尖尖端位置设有纳米尺度的孔。通过场发射金属膜发射出的场致发射电子，经过绝缘层、屏蔽聚焦金属膜上小孔处弯曲电场聚焦后轰击样品表面实现对样品的超精细纳米加工，该微加工针尖利用金属屏蔽层结构和电学的电子束聚焦效应，能有效减小探针场发射电子束束流直径，从而减小微加工所能获得的线宽到10纳米量级。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 精细 纳米 加工 针尖 | ||
【主权项】：
一种用于超精细纳米加工的针尖，其特征在于，在金属针尖及悬臂上依次镀氧化物绝缘膜和屏蔽聚焦金属膜，氧化物绝缘膜和屏蔽聚焦金属膜在金属针尖尖端位置设有纳米尺度的孔。
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