[发明专利]在粒子光学装置中准备和成像薄片的方法

摘要

本发明涉及在粒子光学装置中准备和成像薄片的方法。本发明涉及一种通过使用粒子光学装置（100）来准备和成像样品（101）的方法，粒子光学装置（100）装备有电子柱（120）、离子束柱（140）、拍摄系统（110）、操纵器（160）。该方法包括下列步骤根据第一电子图像导出样品的第一折叠写入图像；然后减薄样品，并且形成样品的第二折叠写入图像。在本发明的实施例中，被用于第二图像的种子图像是第一折叠写入图像。在另一个实施例中，第二折叠写入图像是在减薄期间的移除层的图像，在还有另一个实施例中，确定样品的内电势并且确定掺杂剂浓度。

主权项

一种通过使用粒子光学装置(100)来准备样品(101)并且对样品(101)进行成像的方法，粒子光学装置装备有·电子柱(120)，其被固定在可抽真空样品室(102)上，电子柱被装备为产生电子束(122)，而电子束用于照射样品，·拍摄系统(110)，其用于形成由穿过样品透射的电子(122’)引起的衍射图样的电子图像，·操纵器(160)，其用于在样品室中关于电子束来定位样品，该方法包括下列步骤：·准备样品，·在样品室中关于电子束来定位样品，·通过使用电子柱来在拍摄系统上形成第一电子图像，以及·根据所述第一电子图像导出样品的第一折叠写入图像，而折叠写入图像是迭代收敛过程的结果，在所述迭代收敛过程中形成样品的估计，其特征在于：·粒子光学装置包括固定在样品室上用于产生聚焦离子束(142)的聚焦离子束柱(140)，而聚焦离子束用于切削样品，·准备样品牵涉关于离子束来定位样品以及通过使用聚集离子束来减薄样品，·在形成第一电子图像之后，样品的层通过使用离子束来被移除，此后第二电子图像通过使用电子柱来被形成，并且·样品的第二折叠写入图像通过使用第二电子图像来被导出，并且·至少从样品通过用聚焦离子束减薄样品来被准备的时刻直到第二电子图像被采取的时刻，样品被保持在真空下。