[发明专利]研磨垫成型模具的制造方法、研磨垫成型模具及研磨垫

摘要

本发明提供一种能够高精密且高效率地进行平坦加工的研磨垫成型模具的制造方法、研磨垫成型模具及研磨垫。形成有排列了细微凸部（12）微型图案α的研磨垫（13）的研磨垫成型模具（10）的制造方法，具有制作在基板（21）的一方侧形成有相对于微型图案α凹凸关系被翻转了的微型图案β的母模（26）的母模制作工序；用母模（26）制作在表层形成有微型图案γ的正片子模（27）的正片子模制作工序；用正片子模（27）制作在表层形成有微型图案δ的底片子模（18）的底片子模制作工序，和把底片子模（18）的形成有微型图案δ的表层当作上面排列固定在底座（17）上构成研磨垫成型模具（10）的组装工序。

主权项

一种研磨垫成型模具的制造方法，其特征在于，该研磨垫成形模具用于制造研磨垫，该研磨垫在进行板状的被研磨材料的平坦加工时使用，该研磨垫在一方的表面侧形成有按设定的间隔分散配置有细微凸部P的微型图案α，该研磨垫成型模具的制造方法具有：母模制作工序，其在单晶的基板的一方的表面侧，与上述微型图案α的上述细微凸部P的配置相应地设置形成有跟该细微凸部P的底部尺寸相同的孔的保护罩，经由该保护罩对上述基板的一方的表面侧进行蚀刻，以制作在该基板的一方的表面侧形成有微型图案β的母模，该微型图案β与上述微型图案α的上述细微凸部P的配置相应地分散配置有与上述细微凸部P凹凸关系翻转了的细微凹部Q；正片子模制作工序，其把上述母模的上述微型图案β进行转印，以制作正片子模，该正片子模在与上述细微凹部Q对应的位置形成有微型图案γ，该微型图案γ分散配置有与该细微凹部Q尺寸相同而凹凸关系翻转了的细微凸部R；底片子模制作工序，其把上述正片子模的上述微型图案γ进行转印，以制作底片子模，该底片子模在与上述细微凸部R对应的位置形成有微型图案δ，该微型图案δ分散配置有与该细微凸部R尺寸相同而凹凸关系翻转了的细微凹部S；和组装工序，其把上述底片子模的形成有上述微型图案δ的表层侧当作表面，一边把该底片子模的侧部彼此抵接一边把该底片子模排列固定在底座上构成上述研磨垫成型模具。