[发明专利]一种侧向耦合平面波导光栅外腔激光器无效
| 申请号： | 201310268233.5 | 申请日： | 2013-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN103346477A | 公开（公告）日： | 2013-10-09 |
| 发明（设计）人： | 孙宁宁;谭满清 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01S5/14 | 分类号： | H01S5/14;H01S5/22 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种外腔激光器，其包括一个平面光波导芯片，该芯片包括一个管芯和一个波导，波导具有一个芯层，该芯层呈脊形，在所述波导的芯层两侧具有一个侧向耦合光栅。所述管芯包括有源区、前腔面和后腔面，所述后腔面用于反射所述有源区激发的光波，所述前腔面用于传输该光波到所述波导中，所述波导的芯层耦合到该管芯的前腔面。本发明的侧向耦合平面波导光栅外腔激光器，采用无源多级侧向耦合平面波导光栅作为激光器外腔，可以简化工艺难度，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 侧向 耦合 平面 波导 光栅 激光器 | ||
【主权项】：
一种外腔激光器，包括一个平面光波导芯片，该芯片包括一个管芯和一个波导，其特征在于：所述波导具有一个芯层，该芯层呈脊形，在所述波导的芯层两侧具有一个侧向耦合光栅。
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