[发明专利]抗蚀剂组合物的制造方法、过滤装置、抗蚀剂组合物的涂敷装置以及抗蚀剂组合物

摘要

本发明提供一种可以得到抑制缺陷发生的抗蚀剂组合物的抗蚀剂组合物的制造方法、能够在所述制造方法中良好使用的过滤装置、搭载所述过滤装置的抗蚀剂组合物的涂敷装置以及抑制缺陷发生的抗蚀剂组合物。所述组合物是将抗蚀剂组合物通过具备聚乙烯制中空丝膜过滤器而得到，所述抗蚀剂组合物是将通过酸的作用使碱溶性发生变化的树脂成分和通过曝光而产生酸的酸产生剂成分溶解于有机溶剂中而成的。

主权项

一种抗蚀剂组合物的制造方法，其特征在于，具有：向具备含有聚乙烯制的多孔性膜的中空丝膜的过滤器(f1)供给抗蚀剂组合物，使其通过所述多孔性膜的工序(I)，所述抗蚀剂组合物是将通过酸的作用使碱溶性增大的树脂成分(A)和通过曝光而产生酸的酸产生剂成分(B)溶解于有机溶剂(S)中而成。