[发明专利]一种硅片冲洗装置无效
| 申请号： | 201310268431.1 | 申请日： | 2013-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN104249064A | 公开（公告）日： | 2014-12-31 |
| 发明（设计）人： | 周建国;夏利荣 | 申请（专利权）人： | 常州市立威刀具有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 何学成 |
| 地址： | 213000 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种硅片生产过程中，对硅片进行清洗的硅片冲洗装置，包括清洗槽、储水罐、对储水罐中的水进行输送的输送装置，以及位于清洗槽上方的旋转装置，旋转装置包括支架、固定设置在支架上的驱动电机、固定连接在驱动电机输出轴上的转轴，以及固定连接在转轴下端的旋转平台，所述旋转平台位于清洗槽内，输送装置的输出端位于旋转平台的上方。本发明结构简单，不需要频繁换水，能够对硅片进行彻底清洗，同时无需人工操作、提高了清洗效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 冲洗 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片冲洗装置，包括清洗槽，其特征在于：还包括储水罐、对储水罐中的水进行输送的输送装置，以及位于清洗槽上方的旋转装置，旋转装置包括支架、固定设置在支架上的驱动电机、固定连接在驱动电机输出轴上的转轴，以及固定连接在转轴下端的旋转平台，所述旋转平台位于清洗槽内，输送装置的输出端位于旋转平台的上方。
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