[发明专利]制备非晶态透明氧化锌薄膜的方法无效
| 申请号： | 201310271834.1 | 申请日： | 2013-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN103343327A | 公开（公告）日： | 2013-10-09 |
| 发明（设计）人： | 洪瑞金;张大伟;王琦;陶春先;黄元申;盛斌 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/58 | 分类号： | C23C14/58;C23C14/35 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 脱颖 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 制备非晶态透明氧化锌薄膜的方法，包括步骤：室温下采用磁控反应溅射法在基底上沉积金属锌薄膜；以及在大气环境下对沉积有金属锌薄膜的基底进行热处理。热处理温度为400℃～600℃，升温速率为每分钟30至80摄氏度，并且热处理时间为1～2小时。根据本发明的方法所制备的氧化锌薄膜性能优异，能够更加广泛应用于太阳能电池、平板显示器、有机光发射二极管、低辐射玻璃、透明薄膜晶体管及柔性电子器件等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 晶态 透明 氧化锌 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
一种制备非晶态透明氧化锌薄膜的方法，包括步骤：室温下采用磁控反应溅射法在基底上沉积金属锌薄膜；以及在大气环境下对沉积有金属锌薄膜的基底进行热处理，其中，热处理温度为400℃～600℃，升温速率为每分钟30至80摄氏度，并且热处理时间为1～2小时。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海理工大学，未经上海理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310271834.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种气相沉积方法
- 下一篇：一种基于三维打印树脂模具技术的树脂混合液涂料
- 同类专利
- 专利分类
