[发明专利]一种横向恒流二极管有效
申请号: | 201310275984.X | 申请日: | 2013-07-03 |
公开(公告)号: | CN103400863A | 公开(公告)日: | 2013-11-20 |
发明(设计)人: | 乔明;许琬;章文通;李燕妃;何逸涛;张昕;张波 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | H01L29/861 | 分类号: | H01L29/861;H01L29/06 |
代理公司: | 成都宏顺专利代理事务所(普通合伙) 51227 | 代理人: | 李顺德;王睿 |
地址: | 611731 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明涉及半导体技术,具体的说是涉及一种横向恒流二极管。本发明所述的横向恒流二极管,通过在N型阱区引入轻掺杂的P型区和重掺杂的P型区构成P型阱区,从而调制表面电场,提高击穿电压,同时轻掺杂的P型区可辅助耗尽N型阱区,使沟道更易夹断,快速进入恒流区,使得恒流二极管具有较低夹断电压,较深的重掺杂P型区缩短了沟道长度,提高了恒流二极管的恒定电流。本发明的有益效果为,有效提高横向恒流二极管的击穿电压,同时使沟道更易夹断,能快速进入恒流区,使得横向恒流二极管具有较低夹断电压,并有效提高了横向恒流二极管的恒定电流。本发明尤其适用于横向恒流二极管。 | ||
搜索关键词: | 一种 横向 二极管 | ||
【主权项】:
一种横向恒流二极管,包括P型衬底(9)、阴极(1)、阳极(11)、第一P型重掺杂区(3)和N型阱区(8),所述第一P型重掺杂区(3)和N型阱区(8)设置在阴极(1)和P型衬底(9)之间并与阴极(1)和P型衬底(9)连接,所述N型阱区(8)包括第一N型重掺杂区(4)、第二P型重掺杂区(5)和第二N型重掺杂区(7),阴极(1)覆盖在第一P型重掺杂区(3)、第一N型重掺杂区(4)和第二P型重掺杂区(5)的顶部和P型衬底(9)的底部,阳极(11)覆盖在第二N型重掺杂区(7)的顶部,且阴极(1)与阳极(11)之间、阴极(1)与第一P型重掺杂区(3)、第一N型重掺杂区(4)和第二P型重掺杂区(5)的接触面均通过氧化层(2)隔开,其特征在于,所述N型阱区(8)还包括P型轻掺杂区(6),所述P型轻掺杂区(6)和第二P型重掺杂区(5)连接构成P型阱区,且P型轻掺杂区(6)设置在第二P型重掺杂区(5)靠近第二N型重掺杂区(7)的一侧。
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