[发明专利]激光加工方法

摘要

本发明提供一种激光加工方法，即便将脉冲激光光线的重复频率设定为20kHz以上也不会产生裂纹，并且即便是比形成被加工物的材料的吸收端长的波长的脉冲激光光线也能够实施烧蚀加工。该激光加工方法将重复频率为20kHz以上的脉冲激光光线照射到被加工物来实施激光加工，以被加工物的吸收端的波长为基准，通过实验求出激光光线的波长与不产生裂纹的脉冲宽度之间的关系，设定加工条件。而且，将脉冲激光光线的波长作为纵轴，将脉冲宽度作为横轴，生成描绘有各波长与脉冲宽度的极限点之间的关系的曲线图，照射连接各波长处的脉冲宽度的极限点而成的曲线的下侧的区域的脉冲激光光线来实施激光加工。

主权项

一种激光加工方法，将重复频率为20kHz以上的脉冲激光光线照射到被加工物来实施激光加工，该激光加工方法的特征在于，在照射与被加工物的吸收端相同的波长的脉冲激光光线的情况下，将脉冲激光光线的脉冲宽度设定为10ps以下，在照射被加工物的吸收端的9/10波长的脉冲激光光线的情况下，将脉冲激光光线的脉冲宽度设定为100ps以下，在照射被加工物的吸收端的8/10波长的脉冲激光光线的情况下，将脉冲激光光线的脉冲宽度设定为1ns以下，在照射被加工物的吸收端的7/10波长的脉冲激光光线的情况下，将脉冲激光光线的脉冲宽度设定为10ns以下，在照射被加工物的吸收端的6/10波长的脉冲激光光线的情况下，将脉冲激光光线的脉冲宽度设定为100ns以下，在照射被加工物的吸收端的2倍波长的脉冲激光光线的情况下，将脉冲激光光线的脉冲宽度设定为100fs以下，在照射被加工物的吸收端的4倍波长的脉冲激光光线的情况下，将脉冲激光光线的脉冲宽度设定为10fs以下，在以脉冲激光光线的波长为纵轴、脉冲宽度为横轴而描绘了所述各波长与脉冲宽度之间的关系的曲线图中，照射如下曲线的下侧区域的脉冲激光光线来实施激光加工，其中，该曲线是将该各波长处的脉冲宽度的极限点连接而成的。