[发明专利]一种冷泵再生的控制方法和系统有效
| 申请号： | 201310279718.4 | 申请日： | 2013-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN104279149A | 公开（公告）日： | 2015-01-14 |
| 发明（设计）人： | 杨洋 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | F04B49/06 | 分类号： | F04B49/06;F04B37/08;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 赵娟 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种冷泵再生的控制方法，所述冷泵与系统干泵相连，所述方法，包括以下步骤：接收等待再生的冷泵提交的再生执行请求，依据所述请求申请所述系统干泵的使用权；当获得所述系统干泵的使用权时，关闭与所述系统干泵关联的所有抽气阀；关闭所述等待再生的冷泵及其对应腔室的门阀；发送再生启动指令至所述等待再生的冷泵；所述等待再生的冷泵用于依据所述再生指令执行再生；当所述等待再生的冷泵完成再生后，释放所述系统干泵的使用权。本发明通过设定系统干泵为共享资源来进行管理、协调冷泵执行再生操作，实现了冷泵再生时的设备的自动化管理与协调，避免因误操作而引发的气体倒灌问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 再生 控制 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种冷泵再生的控制方法，其特征在于，所述冷泵与系统干泵相连，所述方法，包括以下步骤：接收等待再生的冷泵提交的再生执行请求，依据所述请求申请所述系统干泵的使用权；当获得所述系统干泵的使用权时，关闭与所述系统干泵关联的所有抽气阀；关闭所述等待再生的冷泵及其对应腔室的门阀；发送再生启动指令至所述等待再生的冷泵；所述等待再生的冷泵用于依据所述再生指令执行再生；当所述等待再生的冷泵完成再生后，释放所述系统干泵的使用权。
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