[发明专利]插入式气动真空输送阀

摘要

本发明提供一种插入式气动真空输送阀，包括阀体部件、阀盖部件、阀芯部件、气缸部件和轴封部件；阀体部件具有开口侧和封合侧，其腔体装载阀芯部件、气缸部件和轴封部件，其上安装有阀盖部件，将腔体密封；阀盖部件包括一长形阀盖和位于阀盖两端的导向柱，导向柱对阀盖起定位、导向和同步作用；阀芯部件位于阀体部件的腔体内，能独立上下运动，对阀进行开、关密封动作；气缸部件的数量为多个，平均分布于阀体部件的腔体内，对阀提供开、关的驱动力并对阀的开、关进行缓冲；轴封部件连接于阀芯部件和气缸部件之间，将气缸部件的阀杆与大气隔开而密封。本发明能够应用于半导体工业设备的真空系统中，实现自动化控制开关、输送板件和工艺过程。

主权项

一种插入式气动真空输送阀，包括阀体部件（1）、阀盖部件（2）、阀芯部件（3）、气缸部件（4）和轴封部件（5）；所述阀体部件（1）具有开口侧和封合侧，其腔体装载所述阀芯部件（3）、所述气缸部件（4）和所述轴封部件（5），其上安装有所述阀盖部件（2），将所述腔体密封；所述阀盖部件（2）包括一长形阀盖和位于所述阀盖两端的导向柱，所述导向柱对所述阀盖起定位、导向和同步作用；所述阀芯部件（3）位于所述阀体部件（1）的腔体内，能独立上下运动，对所述阀进行开、关密封动作；所述气缸部件（4）的数量为多个，平均分布于所述阀体部件（1）的腔体内，对所述阀提供自动化开、关的驱动力并对所述阀的开、关进行缓冲；所述轴封部件（5）连接于所述阀芯部件（3）和所述气缸部件（4）之间，将所述气缸部件（4）的阀杆（42）与大气隔开而密封。